Ультразвуковой способ распыления основан на явлении кавитации, возникающей при создании в жидкости волн с частотой более 20 кГц.

Размеры капель, получаемые таким способом, не превышают 120 мкм. К недостаткам способа следует отнести малую производительность − до 6 л/час и необходимость сложного дорогостоящего оборудования. Как правило, этот способ распыления используют в совокупности с рассмотренными способами, например, пневматическим, что приводит к уменьшению размера частиц.